特許
J-GLOBAL ID：201103087179905649
加速度センサ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-105302
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298139
特許番号：特許第3318743号
出願日： 1999年04月13日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 導電性基板を切り離して構成された枠体及びその枠内に位置する質量体と、上記基板の一方の板面上に設けられ、上記枠体に固定された固定部と、上記質量体に連結された連結部と、それら固定部及び連結部間に架設されたヒンジ部とからなる支持体と、上記板面上に設けられ、上記枠体に設置された設置部と、その設置部より突出されて上記質量体と対向された対向部とからなる検出電極とを備え、上記支持体及び検出電極が上記板面上に成膜された膜のパターニングにより、同一膜から形成され、上記ヒンジ部及び対向部が上記質量体となすギャップが犠牲層の除去によって形成されていることを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
