特許
J-GLOBAL ID:201103087723681334
チタニアナノ微結晶膜とこのパターンを備えた物品並びにその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西澤 利夫
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-045197
公開番号(公開出願番号):特開2004-249266
特許番号:特許第4083036号
出願日: 2003年02月21日
公開日(公表日): 2004年09月09日
請求項(抜粋):
【請求項1】オルガノシルセスキオキサン-チタニア膜の部位とともにチタニアナノ微結晶膜の部位とを基板表面に有していることを特徴とするチタニアナノ微結晶膜。
IPC (5件):
C01G 23/04 ( 200 6.01)
, B01J 31/38 ( 200 6.01)
, B01J 35/02 ( 200 6.01)
, B82B 1/00 ( 200 6.01)
, B82B 3/00 ( 200 6.01)
FI (5件):
C01G 23/04 C
, B01J 31/38 ZNM M
, B01J 35/02 J
, B82B 1/00
, B82B 3/00
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