特許

J-GLOBAL ID：201103088139495436

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 金田 隆行 ,  高橋 秀明
出願人/特許権者： 旭化成イーマテリアルズ株式会社
代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  中村 和広 ,  小野田 浩之 ,  齋藤 都子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096910
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292913
特許番号：特許第4314335号
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】下記一般式(I)で示されるポリアミド:100重量部、下記一般式(II)で表わされるフェノール化合物:1〜30重量部、及び感光性ジアゾキノン化合物:1〜100重量部を含むポジ型感光性樹脂組成物。 (式中X:4価の芳香族基、Y:2価の芳香族基) (式中、mは1〜3の数を示す。また、R1、R2、及びR3は、独立してそれぞれ水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、シクロアルキル基の内から選ばれた1つを示す。Zは単結合、または下記に示す官能基の内から選ばれた1つを示す)

IPC (4件)：

G03F 7/023 ( 200 6.01) ,  G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  G03F 7/40 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G03F 7/023 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-169319   出願人：住友ベークライト株式会社
• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-138593   出願人：住友ベークライト株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-029549   出願人：日本合成ゴム株式会社
• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-165345   出願人：日本ゼオン株式会社

審査官引用 (4件)

• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-169319   出願人：住友ベークライト株式会社
• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-138593   出願人：住友ベークライト株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-029549   出願人：日本合成ゴム株式会社
• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-165345   出願人：日本ゼオン株式会社