特許

J-GLOBAL ID：201103088159210560

三次元形状計測装置

発明者： 北島 和美 ,  亀沢 仁司 ,  福田 正浩
出願人/特許権者： コニカミノルタセンシング株式会社
代理人 (3件)： 小谷 悦司 ,  伊藤 孝夫 ,  樋口 次郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-366550
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183111
特許番号：特許第3994606号
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 被測定物の照明光を生成する照明手段と、被測定物で反射された上記照明光を受光し、電気信号に変換して出力する光電変換手段と、上記照明手段と被測定物との間に設けられ、上記照明光を被測定物に射出するとともに、被測定物で反射された当該照明光を上記光電変換手段の受光面に導く光学系と、上記照明光の被測定物側の集光位置を光軸上で移動させるべく上記光学系を光軸上で相対移動させる第1の移動手段と、上記光学系の相対移動において、当該光学系が予め相対移動範囲内に所定のピッチで設定された複数の露光位置の各露光位置を通過するタイミングで上記光電変換手段の露光動作を繰り返し行わせる露光制御手段と、上記光電変換手段から時系列的に出力される複数の受光信号と各受光信号の露光位置とに基づいて上記被測定物の表面形状を示す光軸方向の位置座標を算出する演算手段と、上記被測定物と上記光学系とを光軸方向に対して垂直な方向に所定のピッチで相対移動させる第2の移動手段と、上記光学系の光軸方向の相対移動と上記光学系の光軸方向に対して垂直な方向の相対移動とを交互に行わせるように上記第1,第2の移動手段を制御する移動制御手段とを備えた三次元形状計測装置であって、上記光学系を被測定物に近接させる第1の移動と被測定物から離隔させる第2の移動とを上記光学系の光軸方向に対して垂直な方向の相対移動を挟んで交互に行わせ、両移動において、上記被測定物の表面形状を示す光軸方向の位置座標を算出することを特徴とする三次元形状計測装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01B 11/24 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭63-256805
  
• 検査方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-127075   出願人：株式会社日立製作所
• 三次元撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-237947   出願人：株式会社高岳製作所
• レーザ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-228295   出願人：住友電気工業株式会社