特許

J-GLOBAL ID：201103088310696780

光学式エンコーダ

発明者： 伊藤 善規
出願人/特許権者： 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ
代理人 (1件)： 横沢 志郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-089231
公開番号（公開出願番号）：特開2002-236033
特許番号：特許第4667629号
出願日： 2001年03月27日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 光源と、一定ピッチあるいは角度で所定形状の反射格子が複数本形成された反射格子板と、一定ピッチあるいは角度で所定形状の光透過格子が複数本形成された移動格子板と、前記光源から出射され前記光透過格子を透過して前記反射格子で反射された反射光像を受光する受光素子とを有する光学式エンコーダであって、 前記光透過格子および前記受光素子は共通の半導体基板に作り込まれており、前記受光素子は一定ピッチあるいは角度で形成された所定形状の格子であり、各受光素子から得られる検出信号に基づき、前記移動格子板および前記反射格子板の相対移動方向および速度を検出するようになっており、 前記光透過格子は、前記半導体基板に形成した光通過用スリット、あるいは、当該半導体基板に形成した光透過用の薄膜部分であり、 前記半導体基板には、前記受光素子が所定間隔で配列された第1の領域と、前記光透過格子が所定間隔で配列された第2の領域と、前記受光素子が所定間隔で配列された第3の領域とが形成されており、 前記第1の領域および前記第3の領域は、前記第2の領域を挟んで前記相対移動方向と直交する方向に対称となるように形成されており、当該第1および第3の各領域は、前記受光素子として第1ないし第4の受光素子を含み、これらの受光素子が、第1、第4、第3および第2の受光素子の順序で繰り返し配列されており、隣接する受光素子の間隔は、それらの受光素子から得られる検出信号の位相が相互に270度ずれるように設定されていることを特徴とする光学式エンコーダ。

IPC (2件)：

G01D 5/347 ( 200 6.01) ,  G01B 11/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01D 5/347 110 S ,  G01B 11/00 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光学式エンコーダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-130761   出願人：株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ
• 光電式エンコーダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-051998   出願人：株式会社ミツトヨ
• 光学式エンコーダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-028596   出願人：株式会社ミツトヨ