特許
J-GLOBAL ID:201103090488188480
表面検査装置、表面検査方法および表面検査プログラム
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (2件):
加藤 久
, 久保山 隆
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-044706
公開番号(公開出願番号):特開2011-179982
出願日: 2010年03月01日
公開日(公表日): 2011年09月15日
要約:
【課題】自動車のボディやその部品などの光沢塗装が施されるなどして表面反射の強い計測対象物であっても、簡単な構造により低コストで高精度かつ高速に表面の疵、塗装の剥がれや凹みなどの表面欠陥を検査することが可能な表面検査装置、表面検査プログラムおよび表面検査方法の提供。【解決手段】曲面状壁1bを有する計測空間1を構成し、計測空間1内の計測対象物Aに対して照明装置2-1,2-2,2-3の光源光を均一に減光して照明し、照明された計測対象物Aの全照明画像の撮影を行うとともに、パターン光投影装置3によりパターン光を計測対象物Aに直接当たらないように曲面状壁1bに投影して反射させ、カメラ装置4によりこの反射パターン光が投影された計測対象物Aの反射パターン画像の撮像を行う。【選択図】図1
請求項(抜粋):
曲面状壁を有する計測空間を構成する計測環境構成装置と、
前記計測空間内の計測対象物に対して光源光を均一に減光して照明するための照明装置と、
パターン光を前記計測対象物に直接当たらないように前記曲面状壁に投影して反射させ、この反射されたパターン光(以下、「反射パターン光」と称す。)を前記計測対象物に投影するためのパターン光投影装置と、
前記照明装置により照明された前記計測対象物の全照明画像の撮像および前記反射パターン光が投影された前記計測対象物の反射パターン画像の撮像を行う撮像装置と、
前記全照明画像および前記反射パターン画像から前記計測対象物の表面欠陥を検出するデータ処理装置と
を含む表面検査装置。
IPC (3件):
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G01B 11/30
FI (3件):
G01N21/88 Z
, G01B11/24 A
, G01B11/30 A
Fターム (32件):
2F065AA21
, 2F065AA49
, 2F065AA53
, 2F065AA58
, 2F065BB27
, 2F065CC11
, 2F065DD06
, 2F065FF01
, 2F065GG02
, 2F065GG03
, 2F065GG07
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ26
, 2F065PP23
, 2F065QQ23
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065SS13
, 2G051AA88
, 2G051AA89
, 2G051AB07
, 2G051AB12
, 2G051AC04
, 2G051BA01
, 2G051BA20
, 2G051BB20
, 2G051CA04
, 2G051CB05
, 2G051EC01
, 2G051ED21
, 2G051FA02
引用特許: