特許
J-GLOBAL ID：201103090869666214
カラーフィルタを備えた液晶表示パネル用基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-214425
公開番号（公開出願番号）：特開2001-042313
特許番号：特許第3859399号
出願日： 1999年07月28日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 透明基板上にフッ素系界面活性剤又はシラン系界面活性剤を含みブラックマトリクスとなる厚さが1乃至3μmの黒色樹脂膜を形成する工程と、前記黒色樹脂膜上にフッ素系界面活性剤又はシラン系界面活性剤を含む厚さが3乃至4μmのレジスト膜を形成する工程と、前記レジスト膜のカラーフィルタが設けられる位置に開口部を設けることによりレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをマスクとして前記黒色樹脂膜をエッチングすることによりブラックマトリクスを形成する工程と、前記ブラックマトリクス位置における前記レジスト膜及び前記黒色樹脂膜を隔壁として区画された領域内にカラーフィルタをインクジェット法により被着させた後プリベークすることにより前記ブラックマトリクスと同じ高さに形成する工程と、前記レジストパターンを除去する工程と、を有することを特徴とするカラーフィルタを備えた液晶表示パネル用基板の製造方法。
IPC (2件)：
G02F 1/1335 ( 200 6.01)
, G02B 5/20 ( 200 6.01)
G02F 1/133 505
, G02B 5/20 101
