特許
J-GLOBAL ID：201103091274556233
プラズマ発生器を制御するためのシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
, 白根 俊郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-511588
特許番号：特許第4455794号
出願日： 2000年07月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プラズマ発生器を制御するためのシステムであって、
プラズマチャンバー内にプラズマを発生させるためのプラズマ発生器と、
前記プラズマチャンバー内で発生したプラズマ中に浸され、共振周波数で安定化共振器として動作する開放共振器と、
前記開放共振器に、可変周波数を有する発振出力を供給する安定化発振器と、
前記開放共振器の共振周波数と前記安定化発振器の可変周波数との差を測定し、補正信号を前記安定化発振器に印加して前記可変周波数を、前記共振周波数に実質的に整合させるために変化させるマイクロ波周波数弁別器を含み、前記プラズマ発生器によって生成されたプラズマの特性の変化により共振周波数が変化する時に、前記開放共振器の共振周波数に対して、安定化発振可変周波数がロックされる制御回路と、
を具備することを特徴とするシステム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
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