特許
J-GLOBAL ID：201103091481016010
太陽電池及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 南山 知広
, 河合 章
, 中村 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-259239
公開番号（公開出願番号）：特開2011-222951
出願日： 2010年11月19日
公開日（公表日）： 2011年11月04日
要約：
【課題】効率減少が発生しない太陽電池及びその製造方法が提供される。【解決手段】本発明の太陽電池の製造方法は、第1導電型の基板の面に複数の突出部を有するテクスチャリング表面を形成する段階と、前記基板に不純物をドーピングし前記第1導電型と反対である第2導電型のエミッター層を形成する段階と、乾式蝕刻法を利用し前記エミッター層の一部をとり除いてエミッター部を形成する段階と、前記エミッター部上に反射防止膜を形成する段階、そして前記エミッター部と接続される第1電極と前記基板と接続される第2電極を形成する段階を含む。エミッター層の一部をとり除いた後にもテクスチャリング表面の突出部の形状変化がほとんど発生しないので、テクスチャリング表面による反射も変化が発生しなくて太陽電池の効率減少が発生しない。【選択図】図4A
請求項（抜粋）：
第1導電型の基板の面に複数の突出部を有するテクスチャリング表面を形成する段階と、
前記基板に不純物をドーピングして前記第1導電型と反対である第2導電型のエミッター層を形成する段階と、
乾式蝕刻法を利用し前記エミッター層の一部をとり除いてエミッター部を形成する段階と、
前記エミッター部上に反射防止膜を形成する段階と、そして
前記エミッター部と接続される第1電極と前記基板と接続される第2電極を形成する段階と、
を含む太陽電池の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
5F151AA02
, 5F151AA03
, 5F151BA16
, 5F151GA13
