特許
J-GLOBAL ID:201103092945965059

漏洩ガス測定装置、及び漏洩ガス測定装置の評価装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 大庭 咲夫 ,  加藤 慎治
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-358472
公開番号(公開出願番号):特開2002-098611
特許番号:特許第4391682号
出願日: 2000年11月24日
公開日(公表日): 2002年04月05日
請求項(抜粋):
【請求項1】 所定のガスが封入された略密閉空間を有する検査対象物を収容するためのチャンバと、 流量測定装置と、 前記チャンバと前記流量測定装置との間を接続する排気通路と、 前記排気通路に介装され同排気通路を開閉する開閉弁と、 測定制御装置と、 前記測定制御装置と接続され前記開閉弁の開閉状態を検出信号として取出して同検出信号を同測定制御装置に供給する手段と、 を備えた漏洩ガス測定装置であって、 前記測定制御装置は、 前記開閉弁を閉弁して前記チャンバを所定の蓄積時間TSだけ密閉し同チャンバ内に前記検査対象物から漏洩するガスを蓄積させる漏洩ガス蓄積手段と、 前記蓄積時間TSの経過後に前記開閉弁を開弁し前記蓄積されたガスを前記流量測定装置に供給する手段と、 前記検出信号が前記開閉弁が開弁した旨を示す信号となったとき、その時点の時刻tを開閉弁開弁タイミングtvとして取得するとともに同開閉弁開弁タイミングにおける前記流量制御装置の出力値Lvを取得する手段と、 前記流量制御装置の出力値の最大ピーク値Lpを取得するともに、同最大ピーク値Lp及び前記開閉弁開弁タイミングにおける出力値Lvと、前記開閉弁開弁タイミングtvと、に基づいて、前記蓄積されたガスが前記流量測定装置に供給されている期間を特定し、この期間について前記流量測定装置の出力値に応じた値を積分して前記蓄積されたガスの全体量を測定する積分手段と、 前記測定されたガスの全体量を前記蓄積時間TSにより除することによって前記検査対象物から漏洩するガスの流量Loutを求める流量演算手段と、 を含んでなることを特徴とする漏洩ガス測定装置。
IPC (4件):
G01M 3/20 ( 200 6.01) ,  G01F 1/00 ( 200 6.01) ,  G01F 3/22 ( 200 6.01) ,  G01M 3/04 ( 200 6.01)
FI (4件):
G01M 3/20 A ,  G01F 1/00 T ,  G01F 3/22 Z ,  G01M 3/04 S
引用特許:
審査官引用 (4件)
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