感熱式流量センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：曾我道照 , 曾我道治 , 池谷豊 , 古川秀利 , 鈴木憲七 , 長谷正久 , 福井宏司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-079431
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275076
特許番号：特許第3545637号
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】感熱抵抗膜よりなる発熱体が平板状基板の表面に形成され、キャビティが該発熱体形成領域の下部にある該平板状基板を部分的に除去して形成されて流量検出用ダイアフラムを構成した流量検出素子と、上記流量検出素子を収納する凹部が表面に形成され、該表面が被計測流体の流れ方向に平行に又は所定の角度をして配置される支持体とを備え、上記流量検出素子がその表面を上記支持体の表面とほぼ同じ面位置となるように上記凹部内に収納された感熱式流量センサであって、上記流量検出素子を支持する複数の第1の面が互いに離間して上記支持体の凹部内に設けられ、少なくとも上記キャビティの外周部に対向し、かつ、上記流量検出素子の上記被計測流体の流れ方向における幅より広い幅を有する第2の面が上記支持体の凹部内に設けられ、上記キャビティに対向しない第3の面が上記支持体の凹部内に設けられており、上記第2の面は上記凹部の深さ方向で上記第1の面より深い位置に設けられ、上記第3の面は上記凹部の深さ方向で上記第2の面より深い位置に設けられ、上記流量検出素子が上記複数の第1の面に支持され、かつ、上記複数の第1の面の少なくとも1つの面に固定されていることを特徴とする感熱式流量センサ。

IPC (2件)：

G01F 1/692 , G01F 1/684

FI (4件)：

G01F 1/68 104 A , G01F 1/68 104 B , G01F 1/68 101 A , G01F 1/68 101 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

流動媒体の質量測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-147348 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
熱式空気流量計用の測定素子及び熱式空気流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-005292 出願人：株式会社日立製作所
流量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-180089 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング

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