圧力センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：伊藤高順 , 久保貴則 , 永井聡 , 碓氷裕彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-008227
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205986
特許番号：特許第4372255号
出願日： 1999年01月14日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】圧力導入路を有するケーシングと、前記ケーシングに前記圧力導入路の基端部に連通するように設けられた圧力センサチップとを備えてなる水圧検知用の圧力センサにおいて、前記圧力導入路の基端側に、微小孔を介して先端側に連通する細長い直管状のオイル溜め部を設け、このオイル溜め部内に圧力センサチップ保護用のオイルを収容し、前記圧力センサチップは、貫通孔を有する支持台座を介して前記ケーシングに接着されると共に、前記オイル溜め部の内径寸法は、前記貫通孔の内径寸法以上とされ、前記オイル溜め部の内径寸法及び長さ寸法は、前記微小孔を下にして該オイル溜め部を上下方向に延びるように配置した際の、該オイル溜め部の内面と前記オイルとの間の摩擦力が、圧力検出対象の負圧による吸引力及びオイルの自重からなり該オイルに対し前記微小孔からの抜出し方向に作用する力の6倍以上となるように選定されることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 19/06 ( 200 6.01) , G01L 9/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01L 19/06 A , G01L 9/00 301 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

半導体圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-059576 出願人：松下電工株式会社
特開昭61-246642
半導体圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-266867 出願人：日本電装株式会社

全件表示

前のページに戻る