液晶表示装置用アレイ基板及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：岡部讓 , 岡部正夫 , 朝日伸光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-117709
公開番号（公開出願番号）：特開2011-170387
出願日： 2011年05月26日
公開日（公表日）： 2011年09月01日
要約：

【課題】本発明は、3マスク工程による液晶表示装置用アレイ基板で島状に半導体層を構成することにより、マスク数の減少と信頼性を向上する。また、マスク数の減少のために3マスク工程で液晶表示装置用アレイ基板を製作する過程で、リフトオフ工程による不良を最小化することができる。【解決手段】本発明は液晶表示装置及びその製造方法に係り、3マスク工程の核心工程であるリフトオフ工程時スパターリング法を利用して保護膜パターンを形成することによってリフトオフ不良を最小化する。また、アクティブ及びオーミックコンタクト層を含む半導体層をデータ配線、ソース及びドレイン電極と別個のマスクを利用して島状にゲート電極内に形成することによって漏れ電流を防止する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板上部に、ゲート配線と、前記ゲート配線に連結されるゲート電極と、前記ゲート配線の一端のゲートパッドとを形成する第1マスク工程段階と; 前記ゲート配線、ゲート電極及びゲートパッド上部にゲート絶縁膜を形成する段階と; 前記ゲート絶縁膜上部に、その境界が前記ゲート電極内に配置される半導体層を形成する第2マスク工程段階と; 前記ゲート配線と交差するデータ配線と、前記データ配線に連結されるソース電極と、前記ソース電極と離隔されるドレイン電極と、前記ドレイン電極から延長される画素電極と、前記ゲートパッドに接触するゲートパッド電極と、前記データ配線に連結されるデータパッド電極とを形成して、前記データ配線、ソース電極及びドレイン電極上部に保護パターンを形成する第3マスク工程段階とを含み、前記第3マスク工程段階は、前記半導体層上部に第1及び第2導電物質層を連続的に形成する段階と; 前記第2導電物質層上部に、第1部分と、前記第1部分より大きい厚さを有する第2部分を含んで、前記ゲート電極に対応する前記第2導電物質層を露出する第1感光パターンを形成する段階と; 前記第1感光パターンをエッチングマスクとして利用して前記第2導電物質層と前記第1導電物質層をエッチングして、前記データ配線と、前記ソース電極と、前記ドレイン電極と、画素電極パターンとを形成する段階と; 前記第1感光パターンを部分的に除去して、前記画素電極パターンに対応する第2感光パターンを形成する段階と; 前記第2感光パターン、データ配線、ソース電極及びデータ電極上部に保護層を形成する段階と; 前記第2感光パターンと、前記第2感光パターン上部の保護層とを除去して保護パターンを形成する段階と; 前記画素電極パターンの前記第2導電物質層を除去して前記画素電極を形成する段階とを含むことを特徴とする液晶表示装置用アレイ基板の製造方法。

IPC (4件)：

G02F 1/136 , G02F 1/134 , H01L 21/336 , H01L 29/786

FI (5件)：

G02F1/1368 , G02F1/1345 , H01L29/78 612D , H01L29/78 627C , H01L29/78 619A

Fターム (68件)：

2H092GA14 , 2H092GA29 , 2H092GA43 , 2H092HA19 , 2H092JA26 , 2H092JA29 , 2H092JA44 , 2H092JA46 , 2H092JB07 , 2H092JB33 , 2H092JB68 , 2H092KA05 , 2H092KA12 , 2H092KA18 , 2H092KA22 , 2H092MA04 , 2H092MA05 , 2H092MA08 , 2H092MA13 , 2H092MA14 , 2H092MA20 , 2H092NA22 , 2H092NA23 , 2H092NA27 , 2H092NA29 , 5F110AA06 , 5F110AA16 , 5F110AA21 , 5F110AA26 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF27 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG22 , 5F110GG35 , 5F110GG45 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK07 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK21 , 5F110HK22 , 5F110HK35 , 5F110HM04 , 5F110HM12 , 5F110HM18 , 5F110NN02 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN34 , 5F110NN35 , 5F110NN44 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5F110QQ01 , 5F110QQ02 , 5F110QQ09 , 5F110QQ14

引用特許：

審査官引用 (4件)

アクティブマトリクス型液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-261235 出願人：株式会社日立製作所
液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-353680 出願人：三星電子株式会社
表示基板及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-352206 出願人：三星電子株式会社

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