加速度センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西浦 ▲嗣▼晴
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106521
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298137
特許番号：特許第4681701号
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】表面上に想定するX軸方向仮想線上に配置された一対のX軸方向加速度検出用電極と前記X軸方向仮想線と直交するY軸方向仮想線上に配置された一対のY軸方向加速度検出用電極とを含む電極パターンが表面上に形成され、裏面上に少なくとも前記各検出用電極と対向する対向電極パターンが形成され、前記一対のX軸方向加速度検出用電極及び前記一対のY軸方向加速度検出用電極と前記対向電極パターンとの間の部分が分極処理されている圧電セラミックス基板と、表面に前記圧電セラミックス基板の前記裏面が接合されたダイアフラムと、前記ダイアフラムの裏面側に突出するように前記ダイアフラムに対して固定された円柱状の重錘と、前記重錘の変位を許容するように前記ダイアフラムの外周部を支持するベースとを具備し、前記一対のX軸方向加速度検出用電極及び前記一対のY軸方向加速度検出用電極が、前記重錘と対向する前記圧電セラミックス基板の重錘対向領域と該重錘対向領域と前記外周部との間に位置する中間領域とに跨がり且つ互いに間隔をあけて前記重錘対向領域を囲む環状の電極列を構成するように形成されている加速度センサにおいて、前記X軸方向加速度検出用電極の前記環状の電極列が延びる方向に位置する一対の辺が前記X軸方向仮想線の両側に等しい間隔をあけて前記X軸方向仮想線と平行になっており、前記Y軸方向加速度検出用電極の前記環状の電極列が延びる方向に位置する一対の辺が前記Y軸方向仮想線の両側に等しい間隔をあけて前記Y軸方向仮想線と平行になっており、前記一対のX軸方向加速度検出用電極のそれぞれは、前記X軸方向仮想線と前記Y軸方向仮想線の交点を中心として対称的な位置に配置され且つ前記X軸方向仮想線を中心線として線対称になる形状を有しており、また前記一対のY軸方向加速度検出用電極のそれぞれは、前記交点を中心として対称的な位置に配置され且つ前記Y軸方向仮想線を中心線として線対称になる形状を有しており、前記X軸方向仮想線と前記Y軸方向仮想線の交点を中心にして前記重錘の半径寸法と同じ半径寸法Rで描いた仮想円を想定したときに、前記一対のX軸方向加速度検出用電極の前記仮想円を越えて前記重錘対向領域内に延びる部分の長さは前記半径寸法Rの25%以上であり、前記一対のY軸方向加速度検出用電極の前記仮想円を越えて前記重錘対向領域内に延びる部分の長さは前記半径寸法Rの25%以上であり、しかも前記一対のX軸方向加速度検出用電極と前記一対のY軸方向加速度検出用電極とが接触しないことを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/09 ( 200 6.01) , G01P 15/18 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01P 15/09 Z , G01P 15/00 K

引用特許：

審査官引用 (4件)

三軸加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-261781 出願人：北陸電気工業株式会社
圧電型振動センサとその製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-177329 出願人：株式会社フジクラ
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-122999 出願人：ミヨタ株式会社

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