特許
J-GLOBAL ID:201103096206536935

流体の被除去物回収方法および流体の被除去物回収装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 敬 (外1名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-007293
公開番号(公開出願番号):特開2001-198404
特許番号:特許第3306401号
出願日: 2000年01月17日
公開日(公表日): 2001年07月24日
請求項(抜粋):
【請求項1】 タンクに被除去物の混入された流体を入れ、前記タンクの流体を第1のフィルタを介して循環させて前記第1のフィルタ表層に前記被除去物から成る第2のフィルタを形成し、前記第2のフィルタの表層に気泡を通過させて前記第2のフィルタの表層を取り除きながら、前記第2のフィルタで前記流体を濾過することにより、前記タンク内に於いて前記流体の前記被除去物の濃度を所定の値まで上昇させ、所定の濃度まで高められた前記流体を回収装置に移し、前記回収装置により前記流体を取り除き、前記回収装置に残った前記被除去物を回収することを特徴とする流体の被除去物回収方法。
IPC (4件):
B01D 37/00 ,  B01D 37/02 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/306
FI (4件):
B01D 37/00 ,  B01D 37/02 B ,  H01L 21/304 622 E ,  H01L 21/306 M
引用特許:
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (6件)
  • 廃スラリ処理方法及びその装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-073282   出願人:株式会社日平トヤマ, 東洋紡績株式会社
  • 特開昭50-043566
  • 特開昭51-009069
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