底面反射防止膜用コーティング組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：江崎光史 , 鍛冶澤實 , 上西克礼 , 虎山一郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-530582
公開番号（公開出願番号）：特表2011-502276
出願日： 2008年10月21日
公開日（公表日）： 2011年01月20日
要約：

第一の層、第二の層、場合により及び第三の層を少なくとも系内に含む多層系であって、前記第一の層は光酸発生剤を含み、この光酸発生剤は第二の層及び第三の層の溶剤中に実質的に不溶性である。現像可能なポジ型及びネガ型底面反射防止膜用コーティング組成物、並びに基材、前記反射防止膜用コーティング組成物の層、及びポジ型もしくはネガ型フォトレジストを含む被覆された基材。画像を形成する方法。次式の化合物。

請求項（抜粋）：

第一の層及び第二の層を少なくとも含む多層系であって、前記第一の層は光酸発生剤を含み、前記第一の層は、更に、第二の層の溶剤中に実質的に不溶性の酸または熱酸発生剤を含むことができ、場合により第一層の下に第三の層が存在し、第一の層の光酸発生剤は、第三の層の溶剤中に実質的に不溶性である、前記多層系。

IPC (8件)：

G03F 7/11 , G03F 7/004 , G03F 7/039 , H01L 21/027 , C09D 201/00 , C09D 7/12 , C09D 201/02 , C09D 201/06

FI (9件)：

G03F7/11 503 , G03F7/004 503A , G03F7/004 501 , G03F7/039 601 , H01L21/30 574 , C09D201/00 , C09D7/12 , C09D201/02 , C09D201/06

Fターム (44件)：

2H125AF17N , 2H125AF17P , 2H125AF27P , 2H125AF29N , 2H125AF36N , 2H125AF45P , 2H125AF54N , 2H125AF54P , 2H125AH17 , 2H125AJ14X , 2H125AJ59X , 2H125AJ65X , 2H125AJ66X , 2H125AM13N , 2H125AM15N , 2H125AM23N , 2H125AN38N , 2H125AN38P , 2H125AN51P , 2H125AN53P , 2H125AN63N , 2H125AN65P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125BA32N , 2H125BA32P , 2H125BA33N , 2H125CA11 , 2H125CB08 , 2H125CB09 , 2H125CC01 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125DA22 , 2H125DA30 , 4J038EA011 , 4J038GA02 , 4J038JB02 , 4J038JC17 , 4J038MA07 , 4J038MA09 , 4J038NA19 , 4J038PB09 , 5F046PA07

引用特許：

出願人引用 (5件)

ポジ型光像形成性底面反射防止膜
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-557995 出願人：クラリアント・インターナシヨナル・リミテッド
下層膜用組成物およびこれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-186575 出願人：株式会社東芝
特開平4-269756

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審査官引用 (5件)

ポジ型光像形成性底面反射防止膜
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-557995 出願人：クラリアント・インターナシヨナル・リミテッド
下層膜用組成物およびこれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-186575 出願人：株式会社東芝
特開平4-269756

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