特許
J-GLOBAL ID:201103096503154561

変位計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 牛木 護 ,  吉田 正義 ,  今枝 弘充 ,  梅村 裕明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-101740
公開番号(公開出願番号):特開2011-232123
出願日: 2010年04月27日
公開日(公表日): 2011年11月17日
要約:
【課題】二平面を備える層の両方の面に局所的な変形が生じた場合にも、より正確に層間変位を計測することができる変位計測装置を提供する。【解決手段】変位計測装置1Aは、天井2と、前記天井2に対し所定間隔を隔てて設けられた床3と、不動点部材とを備える層間の水平方向の変位を光学的に計測する。天井2から前記床3に向かって基準光LSを照射して、前記天井2と前記床3の相対変位を検出する基準変位計測部7と、前記天井2または前記床3と、前記不動点部材との間に参照光LRを照射して、前記不動点部材に対する前記天井2または前記床3の相対変位を検出する参照変位計測部8Aとを備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第1平面と、前記第1平面に対し所定間隔を隔てて設けられた第2平面とを備える層間の水平方向の変位を光学的に計測する変位計測装置において、 前記第1平面から前記第2平面に向かって基準光を照射して、前記第1平面と前記第2平面の相対変位を検出する基準変位計測部と、 前記第1平面または前記第2平面と、前記第1平面および前記第2平面に対し不動点とみなせる不動点部材との間に参照光を照射して、前記不動点部材に対する前記第1平面または前記第2平面の相対変位を検出する参照変位計測部と を備えることを特徴とする変位計測装置。
IPC (1件):
G01B 11/16
FI (1件):
G01B11/16 Z
Fターム (10件):
2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065CC14 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ05 ,  2F065PP22 ,  2F065RR03
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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