磁気記録媒体の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本洋一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016256
公開番号（公開出願番号）：特開2002-222511
特許番号：特許第4639477号
出願日： 2001年01月24日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】非磁性基板上に少なくとも磁性層、カーボン保護層、および液体潤滑剤を順次積層することによって磁気記録媒体を得る磁気記録媒体の製造方法において、前記磁性層上にカーボン保護層を本成膜する前に、成膜チャンバー内壁に圧縮応力が1.0〜2.5GPaであるカーボン膜を成膜して、前記カーボン保護膜の本成膜時に前記成膜チャンバー内壁からのカーボン膜の剥離を防止し、前記保護膜の表面に付着するパーティクルを減らすことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (2件)：