特許
J-GLOBAL ID：200903042164257401

成膜装置

発明者：
松土 昌彦

松土 昌彦 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-156871
公開番号（公開出願番号）：特開2000-345343
出願日： 1999年06月03日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：
【要約】【課題】 処理容器内の部材の表面粗さを大きくすることにより、耐腐食性を向上させて長寿命化を図ることができる成膜装置を提供する。【解決手段】 真空引き可能になされた処理容器22内に設置した載置台26上に被処理体Wを載置し、前記処理容器内に成膜ガスを導入して成膜処理を施すようにした成膜装置において、前記処理容器内に設けた部品26、58、66の表面粗さを、この部品が標準的に用いられていた時の表面粗さよりも大きく設定する。このように、処理容器内の部品の表面粗さを大きくすることにより、耐腐食性を向上させて長寿命化を図る。
請求項（抜粋）：
真空引き可能になされた処理容器内に設置した載置台上に被処理体を載置し、前記処理容器内に成膜ガスを導入して成膜処理を施すようにした成膜装置において、前記処理容器内に設けた部品の表面粗さを、この部品が標準的に用いられていた時の表面粗さよりも大きく設定したことを特徴とする成膜装置。
IPC (2件)：
C23C 16/44 ,  H01L 21/285
FI (2件)：
C23C 16/44 B ,  H01L 21/285 C
Fターム (19件)：
4K030AA03 ,  4K030AA04 ,  4K030AA06 ,  4K030BA20 ,  4K030BA48 ,  4K030DA06 ,  4K030EA04 ,  4K030GA02 ,  4K030KA12 ,  4K030KA17 ,  4K030KA45 ,  4K030KA46 ,  4M104BB14 ,  4M104BB18 ,  4M104BB25 ,  4M104BB28 ,  4M104BB30 ,  4M104DD44 ,  4M104HH20
引用特許：
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM