特許
J-GLOBAL ID：200903008379476755
情報記録ディスク用成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-050191
公開番号（公開出願番号）：特開平11-229150
出願日： 1998年02月16日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：
【要約】【課題】 保護膜作成チャンバー内のパーティクル発生を効果的に防止した構成を有する情報記録ディスク用成膜装置を提供する。【解決手段】 記録用の磁性膜の上に保護膜を作成する保護膜作成チャンバー6では、CH4 等の炭化水素化合物ガスのプラズマ化学蒸着によってカーボンよりなる保護膜が作成される。保護膜作成チャンバー6内には酸素ガスが導入されるようになっており、内部の露出面に堆積したカーボン膜は酸素プラズマによってアッシングされ、排気系61によって除去される。基板9を保持したキャリア90は、アッシングの際に退避チャンバー7に退避する。このため、基板9の表面が酸素プラズマによって損傷を受けることがない。
請求項（抜粋）：
基板の表面に記録用の磁性膜を作成した後にこの磁性膜の上にカーボンよりなる保護膜を作成して情報記録ディスクを製作する情報記録ディスク用成膜装置であって、前記保護膜を作成する保護膜作成チャンバーを備えており、この保護膜作成チャンバーは、内部を排気する排気系と、内部に酸素ガスを導入する酸素ガス導入系と、導入された酸素ガスにエネルギーを与えてプラズマを形成するプラズマ形成手段とを有しており、保護膜作成チャンバー内の前記基板以外の露出面に堆積したカーボンの膜をアッシングして除去することが可能となっていることを特徴とする情報記録ディスク用成膜装置。
IPC (5件)：
C23C 16/44
, C23C 16/26
, G11B 5/72
, G11B 5/82
, G11B 5/84
C23C 16/44 J
, C23C 16/26
, G11B 5/72
, G11B 5/82
, G11B 5/84 B
