特許
J-GLOBAL ID：201103097446276996
単結晶引上げ装置の熱遮蔽部材の再生方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須田 正義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-175383
公開番号（公開出願番号）：特開2001-010895
特許番号：特許第3728982号
出願日： 1999年06月22日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】石英るつぼ(13)に貯留されたシリコン融液(12)からシリコン単結晶棒(24)を引上げる装置(10)に設けられ、前記シリコン単結晶棒(24)の外周面を包囲しかつ下端が前記シリコン融液(12)表面から間隔をあけて上方に位置しヒータ(18)からの輻射熱を遮る筒部(28)を有する熱遮蔽部材(27)の再生方法であって、前記熱遮蔽部材(27)を引上げ装置(10)から取外して薬液槽(31)に貯えられた薬液に浸漬することにより洗浄する工程と、前記薬液により洗浄した熱遮蔽部材(27)を純水により洗浄する工程とを含むことを特徴とする単結晶引上げ装置の熱遮蔽部材の再生方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 29/06 502 C
, C30B 15/00 Z
