特許
J-GLOBAL ID：201103098205247240
インピーダンス自動整合方法及び整合装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-215626
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044780
特許番号：特許第4652499号
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数の可変インピーダンス素子を含むインピーダンス調節手段を備え、前記複数の可変インピーダンス素子の各調節部を操作するモータを制御し、前記複数の可変インピーダンス素子の各調節部位置を移動させることによって高周波電源とインピーダンス変動負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス自動整合方法において、
検出された前記複数の可変インピーダンス素子の各調節部位置から各可変インピーダンス素子の可変インピーダンスを算出し、
前記インピーダンス調節手段の入力インピーダンスと前記算出した各可変インピーダンスと前記インピーダンス調節手段のその他の素子のインピーダンスとを使用して前記負荷側インピーダンスとを算出した後、
前記算出された負荷側インピーダンスのときに、前記インピーダンス調節手段の入力インピーダンスが前記インピーダンス調節手段の電源側インピーダンスに整合するように複数の可変インピーダンス素子の各調節部目標位置を算出し、
検出された前記複数の可変インピーダンス素子の各調節部位置に対して、検出された前記複数の可変インピーダンス素子の各調節部位置から前記各調節部目標位置の方向に、予め定めた距離を加算した各調節部位置を算出するとともに、検出された前記複数の可変インピーダンス素子の各調節部位置または前記予め定めた距離を加算した各調節部位置を組み合わせることによって表され、且つ検出された前記複数の可変インピーダンス素子の調節部位置ではない前記複数の可変インピーダンス素子の調節部隣接位置における可変インピーダンス素子の各可変インピーダンスを算出し、
前記各可変インピーダンスとインピーダンス調節手段の出力端子付近からインピーダンス変動負荷をみた負荷側インピーダンスと前記インピーダンス調節手段のその他の素子のインピーダンスとから、前記調節部隣接位置における入力インピーダンスを算出した後、
前記調節部隣接位置における入力インピーダンスと電源側インピーダンスとから前記複数の可変インピーダンス素子の調節部隣接位置における入力反射係数を算出し、
前記算出した入力反射係数のうちで最小となる入力反射係数に対応する調節部隣接位置になるように、前記複数の可変インピーダンス素子の各調節部位置を移動させ、
前記各調節部目標位置の算出から前記各調節部位置の移動までの過程を繰り返す過程で移動された調節部隣接位置における入力反射係数が設定値以下になったときに整合したとみなすことを特徴とするインピーダンス自動整合方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
