特許
J-GLOBAL ID：201103098245737568

熱処理用基板支持具

発明者：
加藤 健夫

加藤 健夫 について


出願人/特許権者：
株式会社SUMCO

株式会社SUMCO について


代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-289825
公開番号（公開出願番号）：特開2002-100667
特許番号：特許第3777964号
出願日： 2000年09月25日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 耐熱性のある複数のワイヤ(21)をたるませた状態で固定した熱処理用基板の支持具であって、 被処理基板(13)の直径より大きいリング部材(22)を備え、 前記複数のワイヤ(21)が前記リング部材(22)に固定され、 前記被処理基板(13)の下面周縁の少なくとも三カ所を前記複数のワイヤ(21)上に載せて前記被処理基板(13)を水平に支持するように構成された ことを特徴とする熱処理用基板支持具。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  H01L 21/324 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01L 21/68 N ,  H01L 21/324 Q
引用特許：
審査官引用 (3件)

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