特許
J-GLOBAL ID：201103098689542330
感光性エレメント、感光性エレメントロール、これを用いたレジストパターンの製造法、レジストパターン、レジストパターン積層基板、配線パターンの製造法及び配線パターン
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
津国 肇
, 束田 幸四郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-505248
特許番号：特許第4014872号
出願日： 2000年06月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 二軸配向ポリエステルフィルムとその一方の面に形成した微粒子を含有する樹脂層を含む支持フィルム及び前記支持フィルムの前記微粒子を含有する樹脂層を形成した面とは反対の面に感光性樹脂組成物の層を有する感光性エレメントであって、
前記二軸配向ポリエステルフィルムの厚みが10〜30μmであり、
前記微粒子を含有する樹脂層を含む支持フィルムのヘーズが0.01〜2.0%であり、
前記感光性樹脂組成物が、
(A)カルボキシル基含有バインダーポリマー、
(B)ビスフェノールA系(メタ)アクリレートを含む光重合性化合物及び
(C)2,4,5-トリアリールイミダゾール二量体を含む光重合開始剤
を含有し、
前記感光性樹脂組成物層の厚みが1〜30μmであることを特徴とする感光性エレメント。
IPC (5件)：
G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/027 ( 200 6.01)
, G03F 7/033 ( 200 6.01)
, G03F 7/09 ( 200 6.01)
, H05K 3/06 ( 200 6.01)
G03F 7/004 512
, G03F 7/027 502
, G03F 7/033
, G03F 7/09 501
, H05K 3/06 J
