X線異物検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西村教光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-361414
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168806
特許番号：特許第4530523号
出願日： 2000年11月28日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 X線発生器(9)から被検査物(2)にX線を曝射し、このX線の曝射に伴って前記被検査物を透過してくるX線をX線検出器(10)で検出し、該X線検出器の検出に基づく前記X線の透過量から前記被検査物中の異物の有無を検査するX線異物検出装置(1)において、前記X線検出器が前記X線を光に変換するシンチレータ(22)と、該シンチレータにより変換された光を電気信号に変換するフォトダイオード(21)とを有するアレイ状のラインセンサ(23)からなり、前記シンチレータの一部に照射されるX線を遮蔽するように前記X線発生器と前記シンチレータとの間のX線が通る軌跡上に配設されたマスク部材(24)と、前記X線発生器がX線を放射していない状態での前記フォトダイオードの暗電流と、前記マスク部材でX線が遮蔽された前記シンチレータの下部に位置する前記フォトダイオードの暗電流とを比較し、その差が予め設定された値を越えたときに前記ラインセンサを寿命と判定する制御手段(13)とを備えたことを特徴とするX線異物検出装置。

IPC (2件)：

G01N 23/04 ( 200 6.01) , G01T 1/20 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01N 23/04 , G01T 1/20 E , G01T 1/20 J , G01T 1/20 G

引用特許：

審査官引用 (5件)

X線検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-338824 出願人：株式会社イシダ
特開平2-147923
特開平2-306233

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