特許
J-GLOBAL ID：201103099092384896
固体撮像装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
青山 葆
, 山崎 宏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-146509
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340776
特許番号：特許第3711211号
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に形成された遮光膜を有する転送部領域でなる凸部領域と上記基板における上記凸部領域に隣接した受光部領域でなる凹部領域で構成された単位セルと、上記単位セル上に形成されたカラーフィルタおよびマイクロレンズを有する固体撮像装置において、 上記凸部領域および凹部領域は、その表面に保護膜を有しており、 上記凸部領域において、上記保護膜は上記遮光膜上にこの遮光膜に接して形成されており、 上記カラーフィルタは、上記凹部領域に直接埋め込まれると共に、当該凹部領域の両側に位置する凸部領域の中央部まで延在しており、 隣接する上記カラーフィルタはエッジ部が互いに重なって連続性を確保しており、 上記重なり連続性を有する複数のカラーフィルタの表面は略平坦であり、 上記重なっているエッジ部のうちの一方のエッジ部は順テーパ形状を有する一方、他方のエッジ部は上記一方のエッジ部に乗り上げていることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (4件)：
H01L 27/14
, G02B 5/20
, H04N 5/335
, H04N 9/07
H01L 27/14 D
, G02B 5/20
, H04N 5/335 V
, H04N 9/07 D
