特許
J-GLOBAL ID：200903072393852891
固体撮像素子と固体撮像素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-081675
公開番号（公開出願番号）：特開平11-284158
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 固体撮像素子の画質の向上を図り、製造工程を簡略化させる。【解決手段】 受光センサ部上に、凹部を有する層間膜を有し、この凹部を埋め込んで、凹部の曲面により受光センサ部に入射光を集光させるために必要な曲率の凸部が形成された層内カラーフィルターを有する構造の固体撮像素子を作製する。
請求項（抜粋）：
基板上に、光電変換をなす受光センサ部を有する固体撮像素子であって、上記受光センサ部上に、凹部を有する層間膜を有し、上記層間膜上に、上記凹部を埋め込んで、該凹部の曲面によって上記受光センサ部に入射光を集光させるために必要な曲率の凸部が形成された層内カラーフィルターを有し、上記層内カラーフィルター上に、マイクロレンズを有し、上記層内カラーフィルターは、入射光を受光センサに集光する層内レンズの役割を兼ねていることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件)：
H01L 27/14
, G02B 5/20 101
H01L 27/14 D
, G02B 5/20 101
