ポリッシング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：渡邉勇 , 堀田信太郎 , 大畑進
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-185357
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009713
特許番号：特許第3797822号
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】研磨面を有した研磨テーブルと、研磨対象物を保持しかつ研磨対象物を前記研磨面に押圧する少なくとも二個のトップリングとを有した研磨処理部を備え、前記少なくとも二個のトップリングはそれぞれ揺動軸により支持され、研磨テーブル上で研磨対象物の研磨を行う研磨位置と研磨対象物を受け渡しする受け渡し位置との間を移動可能になっており、前記少なくとも二個のトップリングは前記研磨位置に同時に位置することができ、第一のトップリングが前記研磨位置で研磨している最中に、第二のトップリングが前記受け渡し位置で研磨対象物を受け取った後待機し、第一のトップリングによる研磨終了と同時に、第二のトップリングによる研磨を行うことができる第一の研磨方法と、第一のトップリングが前記研磨位置で研磨している最中に、第二のトップリングが前記研磨位置で第二の研磨対象物の研磨を行うことができる第二の研磨方法を選択可能であることを特徴とするポリッシング装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ( 200 6.01) , H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (2件)：

B24B 37/04 Z , H01L 21/304 622 L

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭59-227361
基板の研磨方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-321141 出願人：株式会社荏原製作所
研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-347129 出願人：株式会社荏原製作所

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審査官引用 (4件)

特開昭59-227361
基板の研磨方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-321141 出願人：株式会社荏原製作所
研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-347129 出願人：株式会社荏原製作所

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