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J-GLOBAL ID：201202168097926110   整理番号：12A1425798

プラズマCVD法によるSi_1-yC_y薄導へのPドーピング

著者 (5件)： 八木修平 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  阿部克也 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  岡林尚志 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  山田明 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  小長井誠 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 48th  号： 1  ページ： 460  発行年： 2001年03月28日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (2件)： プラズマCVD法 ,  ドーピング