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J-GLOBAL ID：201202207622708516   整理番号：12A1569526

高度透明導電性ZnO膜を目的とする水溶液プロセスとそれに続く紫外線処理

An aqueous solution process and subsequent UV treatment for highly transparent conductive ZnO films

著者 (9件)： WAGATA Hajime (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  OHASHI Naoki (National Inst. Materials Sci. NIMS, Ibaraki, JPN) ,  KATSUMATA Ken-ichi (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  SEGAWA Hiroyo (National Inst. Materials Sci. NIMS, Ibaraki, JPN) ,  WADA Yoshiki (National Inst. Materials Sci. NIMS, Ibaraki, JPN) ,  YOSHIKAWA Hideki (NIMS, Hyogo, JPN) ,  UEDA Shigenori (NIMS, Hyogo, JPN) ,  OKADA Kiyoshi (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  MATSUSHITA Nobuhiro (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名： Journal of Materials Chemistry  (Journal of Materials Chemistry)
巻： 22  号： 38  ページ： 20706-20712  発行年： 2012年10月14日 
JST資料番号： W0204A  ISSN： 0959-9428  CODEN： JMACEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 硝酸亜鉛およびアンモニア水を含む水溶液とpH調節用クエン酸水溶液とを同時にガラス基板にスピンスプレイ塗布し,100°Cで24時間乾燥してZnO膜を調製し,ブラックライト(300~400nm)で照射した。遮光して少なくとも3日間静置した後にX線回折,走査電子顕微鏡法,電気抵抗測定,紫外可視透過率測定,Hall測定,FTIRおよび硬X線光電子分光法によってキャラクタリゼーションした。得られたZnO膜の抵抗は紫外線照射によって11から4.4×10^-2へと3桁近く低下し,遮光して保管すると50日後にも変化しなかった。紫外線照射によってキャリア濃度が増加するとともに有機不純物の分解に起因するドーピングが行われたと考えた。

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *透明導電膜 ,  スピンコーティング ,  *紫外線照射 ,  電気抵抗率 ,  キャリア密度 ,  ドーピング
準シソーラス用語： 比抵抗 ,  キャリア濃度

分類 (3件)： その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O) ,  固-気界面一般  (CB12041H) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高度 ,  導電性 ,  ZnO ,  水溶液 ,  プロセス ,  紫外線処理