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J-GLOBAL ID：201202213574373620   整理番号：12A0779889

バルクモリブデンの誘導結合プラズマエッチング

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ETCHING OF BULK MOLYBDENUM

著者 (6件)： HU J. (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  ZHANG Y. (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  CHEN S. (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  HE S. (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  LI N. (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  CHEN J. (Peking Univ., Beijing, CHN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 25th Vol.1  ページ： 267-270  発行年： 2012年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ICP(誘導結合プラズマ)エッチングは,高密度プラズマおよびイオン衝撃により高エッチング速度および異方性実現の可能性が証明されている。しかしモリブデンのICPエッチング報告事例はない。本論文では,バルクモリブデンICPエッチングプロセスにつき報告した。エッチング速度,選択性,プロファイル異方性に及ぼす一次効果を決定するため,ガス化学,O₂フロー速度,RIE電力,Cl₂/N₂付加を変化させた。予備的最適化バルクモリブデンICPエッチングプロセスにより,プロファイル角70°において2.63μm/分という高エッチング速度を実現した。

シソーラス用語： 原料 ,  *モリブデン ,  *誘導結合プラズマ ,  *プラズマエッチング ,  生産工程 ,  加工速度 ,  選択腐食 ,  RIE【エッチング】
準シソーラス用語： エッチング速度 ,  バルク ,  製造プロセス ,  選択性エッチング

分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： バルク ,  モリブデン ,  誘導結合プラズマ ,  エッチング