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J-GLOBAL ID：201202215344340637   整理番号：12A0755599

ナノワイヤを用いた超高性能センサー及びエネルギー変換素子の研究

著者 (12件)： 新宮原正三 (関西大 システム理工) ,  谷弘詞 (関西大 システム理工) ,  新井泰彦 (関西大 システム理工) ,  齋藤賢一 (関西大 システム理工) ,  鈴木昌人 (関西大 システム理工) ,  高橋智一 (関西大 システム理工) ,  清水智弘 (関西大 システム理工) ,  大村泰久 (関西大 システム理工) ,  齋藤正 (関西大 システム理工) ,  稲田貢 (関西大 システム理工) ,  伊藤博介 (関西大 システム理工) ,  古藤誠 (キヤノン)
資料名： 技苑  (Innovative Technology World)
号： 134  ページ： 35-42  発行年： 2012年03月31日 
JST資料番号： S0825A  ISSN： 0285-6301  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 数十ナノメートル以下に直径を制御した各種ナノワイヤを作製しこれらを用いた超高感度センサーと高効率エネルギー変換素子への応用技術を研究した。ナノワイヤ形成技術として湿式エッチングとCVD法を検討,エッチングには基板上に金や銀を薄く堆積しその触媒作用を用いて直下のシリコンをエッチするメタルアシストエッチングの硝酸銀の濃度でナノワイヤ形状の制御ができる。電解めっきによるナノワイヤ太陽電池Cu₂ZnSnS₄(CZTS)の形成を試み鋳型として陽極酸化アルミナの多孔質構造にCZTS埋め込みめっきを行い組成はめっき電位-1.10Vで化学量論組成に近づけられた。強磁性ナノ導通経路における巨大磁気抵抗効果が確認されたが特性の不安定性も明らかになった。半導体デバイス等における貫通電極の全湿式工程を検討し,貫通深さ25μm,穴径2μmCoWB膜の無電解めっき上へのCu膜の無電解形成にてボイドフリーな貫通電極が形成できた。MOSFETを利用した検知信号の自己増幅可能な加速度センサを試作,電極材料の工夫でセンサ感度向上ができている。磁気記録応用にまで領域を広げた多様なプロジェクト概要を示した。

シソーラス用語： *ナノワイヤ ,  機能素子 ,  エッチング ,  化学蒸着 ,  金属薄膜 ,  触媒反応 ,  硝酸銀 ,  濃度依存性 ,  電気めっき ,  アノード酸化 ,  *太陽電池 ,  *多孔質体 ,  めっき ,  磁気抵抗 ,  硫化物 ,  スズ化合物 ,  亜鉛化合物 ,  *銅化合物 ,  *速度センサ ,  バイアホール ,  無電解めっき ,  MOSFET ,  化合物半導体 ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： エネルギー変換素子 ,  湿式エッチング ,  メタルアシストエッチング ,  埋め込みめっき ,  巨大磁気抵抗 ,  *加速度センサ ,  貫通電極

分類 (4件)： 半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  太陽電池  (NC03084O) ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： ナノワイヤ ,  高性能 ,  センサー ,  エネルギー ,  変換素子 ,  研究