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J-GLOBAL ID：201202222819120579   整理番号：12A1711909

ポリ(ジメチルシロキサン)型を用いたナノインプリンティングにより作製したピラー構造の密度測定

Density measurement of pillar structure fabricated via nanoimprinting using a poly(dimethylsiloxane) mold

著者 (4件)： KANG Yuji (LASTI, Graduate School of Sci., Univ. of Hyogo, 3-1-2 Koto, Kamigori, Hyogo 678-1205, Japan, CREST, Japan Sci. and ...) ,  NAKAI Yasuki (LASTI, Graduate School of Sci., Univ. of Hyogo, 3-1-2 Koto, Kamigori, Hyogo 678-1205, Japan and CREST, Japan Sci. ...) ,  HARUYAMA Yuichi (LASTI, Graduate School of Sci., Univ. of Hyogo, 3-1-2 Koto, Kamigori, Hyogo 678-1205, Japan and CREST, Japan Sci. ...) ,  MATSUI Shinji (LASTI, Graduate School of Sci., Univ. of Hyogo, 3-1-2 Koto, Kamigori, Hyogo 678-1205, Japan and CREST, Japan Sci. ...)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 30  号： 6  ページ： 06FB06-06FB06-6  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリ(ジメチルシロキサン)型を用いたナノインプリンティングにより作製したピラー構造の密度測定を報告した。インプリントピラーを,二つの型の樹脂,SU-8及び水素シルセスキオキサン,を用いて作製し,三軸アクチュエータにより操作する走査プローブ顕微鏡カンチレバーを用いたばね定数を測定することによりキャラクタライズした。ばね定数は,インプリントピラーのYoung率を決定した。交流静電力を用いて,共振周波数を測定した。Young率及び共振周波数に関する結果を用いて,ナノインプリンティングにより作製したピラー構造の密度を決定した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： リソグラフィー ,  *ポリジメチルシロキサン ,  型 ,  *フォトレジスト ,  有機ケイ素化合物 ,  走査型プローブ顕微鏡 ,  片持梁 ,  *ばね定数 ,  *Young率 ,  共振周波数 ,  ナノ構造 ,  柱 ,  ナノピラー ,  *水素シルセスキオキサン ,  密度測定 ,  *フォトレジストSU-8 ,  立体
準シソーラス用語： *SU-8 ,  *カンチレバー ,  *ナノインプリントリソグラフィー ,  走査プローブ顕微鏡

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  高分子固体の力学的性質  (CG02023D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 型 ,  ナノインプリンティング ,  作製 ,  ピラー ,  密度測定