文献

J-GLOBAL ID：201202233597432358   整理番号：12A1440863

ダイヤモンド状炭素薄膜の分類

Classification of Diamond-Like Carbon Films

著者 (1件)： SAITOH Hidetoshi (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 51  号： 9,Issue 1  ページ： 090120.1-090120.4  発行年： 2012年09月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド状炭素(DLC)薄膜の構造と特性に関する分析研究の近況の概観を,DLC分類の観点から提示した。まず,現在に至るまで報告されたDLC薄膜の構造,処理および特性を纏めた。4種類の典型的非晶質構造が,多数の蒸着法を用いて形成された。DLC薄膜の密度と屈折率とは,DLC薄膜の構造に著しく影響を受けることを記した。次に,日本で2006年以来行われたDLC薄膜に関する多数の評価プロジェクトを説明した。これらの評価プロジェクトには,多数の方法で製造したDLC薄膜の構造と特性を,適切な装置を用いて評価するラウンドロビン試験が含まれることを記した。このラウンドロビン試験の結果は,DLC薄膜が,その構造だけでなくその特性に基づいても分類できることを示唆した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  *半導体薄膜 ,  *分類 ,  共同比較試験 ,  構造 ,  特性 ,  ダイヤモンド ,  炭素材 ,  蒸着 ,  密度 ,  屈折率 ,  評価基準
準シソーラス用語： ラウンドロビン試験 ,  非晶質炭素

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

引用文献 (14件)：

• 1) S. M. Allen and E. L. Thomas: The Structure of Materials (Wiley, New York, 1998) p. 2.
• 2) P. Lemoine, J. P. Quinn, P. D. Maguire, and J. A. D. McLaughlin: Carbon 44 (2006) 2617.
• 3) K. Sarakinos, A. Braun, C. Zilkens, S. Mraz, J. M. Schneider, H. Zoubos, and P. Patsalas: Surf. Coatings Technol. 206 (2012) 2706.
• 4) M. Chhowalla, J. Robertson, C. W. Chen, S. R. P. Silva, and G. A. J. Amaratunga: J. Appl. Phys. 81 (1997) 139.
• 5) K. Kamata, T. Inoue, K. Sugai, H. Saitoh, and K. Maruyama: J. Appl. Phys. 78 (1995) 1394.

タイトルに関連する用語 (3件)： ダイヤモンド状炭素 ,  薄膜 ,  分類