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J-GLOBAL ID：201202237324522902   整理番号：12A1756863

生物無機化Niナノ粒子を用いた金属誘起横方向結晶化による低エネルギー微小/ナノ電子機械システム用のSi薄膜の結晶度の向上

Improving Crystallinity of Thin Si Film for Low-Energy-Loss Micro-/Nano-Electromechanical Systems Devices by Metal-Induced Lateral Crystallization Using Biomineralized Ni Nanoparticles

著者 (13件)： KUMAGAI Shinya (Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN) ,  KUMAGAI Shinya (JST-CREST, Saitama, JPN) ,  MURASE Hiromu (Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN) ,  MIYACHI Syusuke (Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN) ,  KOJIMA Nobuaki (Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN) ,  OHSHITA Yoshio (Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN) ,  YAMAGUCHI Masafumi (Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN) ,  YAMASHITA Ichiro (Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN) ,  YAMASHITA Ichiro (JST-CREST, Saitama, JPN) ,  URAOKA Yukiharu (Nara Inst. Sci. and Technol., Nara, JPN) ,  URAOKA Yukiharu (JST-CREST, Saitama, JPN) ,  SASAKI Minoru (Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN) ,  SASAKI Minoru (JST-CREST, Saitama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 51  号： 11,Issue 2  ページ： 11PA03.1-11PA03.5  発行年： 2012年11月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低エネルギー微小/ナノ電子機械システム(MEMS/NEMS)素子の観点からSi薄膜の特性を調べた。籠形蛋白質アポフェリチン内に順応したNiナノ粒子を用いた金属誘起横方向結晶化(MILC)を非晶質Si膜に適用して多結晶Si(ポリシリコン)膜を得た。MILCしたポリシリコン膜は50~60μmの結晶化分域を有したが,MILCしないポリシリコン膜の結晶粒は≦1μmであった。MILCしたポリシリコン膜の結晶化分域はほぼ同じ結晶方位を示したが,MILCしないものは不規則な結晶方位を示した。MILCしたポリシリコン膜の結晶化誘起引張応力は461MPaへ上昇した(MILC無しでは363MPa)。MILCしたポリシリコン膜を静電駆動MEMS共振器へ適用した。周波数応答では,共振周波数が高くなり,Q値は20%上昇した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *MEMS ,  *ポリシリコン ,  細孔 ,  薄膜 ,  *結晶度 ,  アポフェリチン ,  結晶化 ,  結晶粒 ,  結晶方位 ,  引張応力 ,  共振周波数 ,  共振器
準シソーラス用語： MEMS共振器 ,  *NEMS ,  ナノ細孔 ,  多結晶珪素

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

引用文献 (31件)：

• 1) R. T Howe, B. E. Boser, and A P. Pisan: Sens. Actuators A 56 (1996) 167.
• 2) P. J. French: Sens. Actuators A 99 (2002) 3.
• 3) S. -H. Tseng, M. S. -C. Lu, P -C. Wu, Y.-C. Tseng, H.-H. Tsai, and Y.-Z. Juang: J. Micromech. Microeng. 22 (2012) 055010
• 4) H. C. Lim, B. Schulkin, M. J. Pulickal, S. Liu, R. Petrova, G. Thomas, S. Wagner, K. Sindhu, and J. F. Federici Sens. Actuators A 119 (2005) 332.
• 5) H. Huang, K. Winchester, Y. Liu, X. Z. Hu, C. A. Musca, J. M. Dell, and L. Faraone: J. Micromech. Microeng. 15 (2005) 608

タイトルに関連する用語 (11件)： 生物 ,  無機化 ,  Ni ,  ナノ粒子 ,  金属誘起横方向結晶化 ,  低エネルギー ,  微小 ,  電子 ,  機械システム ,  Si薄膜 ,  結晶度