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J-GLOBAL ID：201202242229460413   整理番号：12A1444947

低い抵抗温度係数のニッケルクロム合金薄膜を有するマイクロカンチレバーを用いた触覚センサアレイおよび滑り検出へのその応用

Tactile sensor array using microcantilever with nickel-chromium alloy thin film of low temperature coefficient of resistance and its application to slippage detection

著者 (8件)： SOHGAWA Masayuki (Osaka Univ., 1-3 Machikaneyama-cho, Toyonaka, Osaka 560-8531, JPN) ,  HIRASHIMA Daiki (Osaka Univ., 1-3 Machikaneyama-cho, Toyonaka, Osaka 560-8531, JPN) ,  MORIGUCHI Yusuke (Osaka Univ., 1-3 Machikaneyama-cho, Toyonaka, Osaka 560-8531, JPN) ,  UEMATSU Tatsuya (Osaka Univ., 1-3 Machikaneyama-cho, Toyonaka, Osaka 560-8531, JPN) ,  MITO Wataru (Advanced Telecommunications Res. Inst. International, 2-2-2 Hikari-dai, Seika, Souraku, Kyoto 619-0288, JPN) ,  KANASHIMA Takeshi (Osaka Univ., 1-3 Machikaneyama-cho, Toyonaka, Osaka 560-8531, JPN) ,  OKUYAMA Masanori (Osaka Univ., 1-3 Machikaneyama-cho, Toyonaka, Osaka 560-8531, JPN) ,  NOMA Haruo (Advanced Telecommunications Res. Inst. International, 2-2-2 Hikari-dai, Seika, Souraku, Kyoto 619-0288, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 186  ページ： 32-37  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面マイクロマシングにより低雑音のNiCrの薄膜歪ゲージを用いたマイクロカンチレバーからなる触覚センサを作製し,作製した触覚センサアレイを使用することにより滑りを検出した。75重量%のNiCrの合金薄膜は非常に低い抵抗温度係数(TCR)を有し,温度の雑音とドリフトを抑制するためにCrを使用する。NiCr薄膜(Cr:75%)を用いて作製した触覚センサは垂直力と剪断力について抵抗の線形依存性を持ち,従来のNiCr(Cr:20重量%)膜を有するものよりも低い雑音と温度ドリフトを示した。作製したセンサによって測定した垂直力と剪断力は3~3.5kPaの誤差で加えた力とよく一致した。さらに,作製した触覚センサアレイを用いてロボットハンドの握り状態を検出し,滑り状態を76.5%の割合で判断できた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 温度係数 ,  *ニクロム ,  *片持梁 ,  *触覚センサ ,  滑り ,  歪計 ,  ドリフト ,  雑音 ,  力 ,  ロボットハンド ,  検出器 ,  剪断力 ,  温度ドリフト ,  垂直力 ,  抵抗温度係数 ,  *センサ
準シソーラス用語： *ニッケルクロム合金 ,  *マイクロカンチレバー ,  歪ゲージ

分類 (3件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  非鉄金属材料  (WE03000D) ,  梁,桁  (HD03020H)

タイトルに関連する用語 (8件)： 抵抗温度係数 ,  ニッケルクロム合金 ,  薄膜 ,  マイクロカンチレバー ,  触覚センサ ,  アレイ ,  滑り ,  応用