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J-GLOBAL ID：201202245380139022   整理番号：12A0155286

Si基板上に作製したErSi₂ナノワイヤーの構造解析と光学特性

著者 (1件)： 趙新為 (東京理大 大学院)
資料名： 真空ジャーナル  (Journal of Japan Vacuum Industry Association)
号： 139  ページ： 15-19  発行年： 2012年01月13日 
JST資料番号： L8030A  ISSN： 1883-1052  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Si(100)基板上に希土類金属のEr薄膜を堆積し,真空中で熱処理することでErSi₂ナノワイヤーを作製した。走査型電子顕微鏡によるワイヤーの表面観察と透過型電子顕微鏡によるワイヤーの断面観察を行い,細線のサイズと結晶構造を評価した。ワイヤーの成長方向に対して垂直及び平行な断面の解析により,ワイヤーの形成にはSi基板との格子不整合によるものだけではなく,SiとEr原子の相互拡散が起こっていることを明らかにした。また,ErSi₂ナノワイヤーを酸化させ,ナノサイズのEr₂Si₂O₇混晶ワイヤー及び薄膜を作製した。本研究によりナノ材料に新しい機能を持たせることが可能であることが判明できた。

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,  *ナノワイヤ ,  *構造解析 ,  *光学的性質 ,  ケイ化物 ,  スペクトル ,  自己組織化 ,  光ルミネセンス ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  透過型電子顕微鏡 ,  *金属薄膜 ,  *エルビウム ,  熱処理 ,  *結晶構造 ,  相互拡散 ,  *シリコンウエハ ,  走査電子顕微鏡法
準シソーラス用語： *Si基板 ,  二珪化エルビウム ,  走査電子顕微鏡観察

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  金属の結晶構造  (BK06000V)

引用文献 (13件)：

• 1) 「Nanotechnology」,原著:Gregory Timp,翻訳:広瀬千秋,NTS。
• 2) 「自己組織化プロセス技術」,村田好正,培風館
• 3) S. Komuro, S. Maruyama, T. Morikawa, X. Zhao, H. Isshiki, and Y. Aoyagi, Appl. Phys. Lett. 69 (1996) 3896.
• 4) X. Zhao, S. Komuro, H. Isshiki, Y. Aoyagi, and T. Sugano, Appl. Phys. Lett. 74 (1999) 120.
• 5) R. Watanabe, S. Harako, T. Kuzuu, K. Kouno, T. Kobayashi, T. Meguro and X. Zhao, Jpn. J. Appl. Phys. 45 (2006) 5535.

タイトルに関連する用語 (5件)： Si基板 ,  作製 ,  ナノワイヤー ,  構造解析 ,  光学特性