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J-GLOBAL ID：201202248443610501   整理番号：12A1287305

マルチモード走査型プローブ顕微鏡法により測定したSiストライプにおける傾斜照明下での光電流の空間分布

Spatial Distribution of Photocurrent in Si Stripes under Tilted Illumination Measured by Multimode Scanning Probe Microscopy

著者 (6件)： BOLOTOV Leonid (Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN) ,  BOLOTOV Leonid (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN) ,  TADA Tetsuya (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN) ,  POBORCHII Vladimir (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN) ,  FUKUDA Koichi (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN) ,  KANAYAMA Toshihiko (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 51  号： 8,Issue 1  ページ： 088005.1-088005.2  発行年： 2012年08月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 幅が50から1000nmのSiのストライプの光電流の空間分布を,マルチモードの走査型プローブ顕微鏡(MSPM)により,光の励起波長の関数として調べた。Siのストライプ内でのMSPM光電流の不均一な分布は,光強度プロファイルに起因するものであった。光吸収の深さプロファイル及びプローブ誘起バンドベンディング領域が含まれたモデルにより,ストライプの傾いた照明に対する光電流プロファイルを再現した。定圧力モードでのマルチモードSPMを用いた光電流測定から,10nmの実効空間分解能が推定された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *空間分布 ,  *光電流 ,  深さプロフィル ,  光吸収 ,  *光照射 ,  *顕微鏡観察
準シソーラス用語： *走査型プローブ顕微鏡観察

分類 (1件)： 光伝導,光起電力  (BM03050J)

引用文献 (21件)：

• 1) B. Tian et al.: Nature 449 (2007) 885.
• 2) S. Sato et al.: Appl. Phys. Lett. 98 (2011) 233506.
• 3) Y. Terada et al.: Nat. Photonics 4 (2010) 869.
• 4) M. C. Putnam et al.: Appl. Phys. Lett. 95 (2009) 163116.
• 5) J. S. Hwang et al.: J. Phys. Chem. C 115 (2011) 21981.

タイトルに関連する用語 (5件)： マルチモード ,  走査型プローブ顕微鏡法 ,  Si ,  光電流 ,  空間分布