電磁駆動型2軸可動MEMS グレーティングと近赤外低コヒーレンス干渉法を用いた3次元形状計測への応用

渡部善幸; 高橋義行; 阿部泰; 岩松新之輔; 矢作徹; 小林誠也; 今野俊介; 佐藤敏幸

文献

J-GLOBAL ID：201202256620346421 整理番号：12A0268396

電磁駆動型2軸可動MEMS グレーティングと近赤外低コヒーレンス干渉法を用いた3次元形状計測への応用

Electromagnetically Dual-axis Driven MEMS Grating, and its Application to 3D Profiling with Near Infrared Low Coherence Interferometry

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著者 (8件)： , , , , , , ,
資料名：
巻： 132 号： 2 ページ： 31-36 (J-STAGE) 発行年： 2012年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

MEMSグレーティングを使用し,低コヒーレンス干渉も用いた3次元形状計測を検討した。光ファイバとMEMSデバイスによりシステムを構成し,干渉スペクトルの波長解析により物体との距離を判別する方式とした。MEMSグレーティングは平面状コイルと永久磁石により誘起された電磁力で二つの軸に傾斜でき,一つの軸の傾斜は近赤外分光として作用し,他の軸傾斜は干渉計における光学軸整列に作用する。この干渉計はS/N比が50dB,垂直標準偏差が0.6μmであり,20msで1400~1700nmの全波長幅においてスキャンできると述べた。表面反射形状計測だけでなく,ウェハ背面からの透過型の3次元形状計測も実現できた。

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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器

引用文献 (18件)：

(1) M. Haruna and M. Ohmi : “Sensing of Biological Functions by using Low Coherence Interferometry”, Journal of the Society of Instrument and Control Engineers, Vol.45, No.11, pp.915-921 (2006) (in Japanese)
春名正光・近江雅人:「低コヒーレンス光干渉を用いた生体機能検出」, 計測と制御, Vol.45, No.11, pp.915-921 (2006)
(2) Y. Hongbin, Z. Guangya, C. F. Siong, L. Feiwen, W. Shouhua, and Z. Mingsheng : “An Electromagnetically Driven Lamellar Grating Based Fourier Transform Microspectrometer”, Journal of Micromechanics and Microengineering, 18, 055016, pp.1-6 (2006)
(3) Y. Watanabe, Y. Abe, S. Iwamatsu, T. Mitsui, Y. Takahashi, and T. Sato, “Development of an Electromagnetically Driven Optical MEMS Mirror with Functions of Z-axis Vibration and X, Y Bi-Directional Tilting, and an Application to Low Coherent Optical Interferometer”, IEEJ Trans. SM, Vol.128, No.3, pp.107-112 (2008)
(4) Y. Watanabe, Y. Abe, S. Iwamatsu, S. Kobayashi, Y. Takahashi, and T. Sato : “Electromagnetically Driven 2-axis Optical Beam Steering MEMS Mirror and its Dependence of Actuation on Magnetic Force”, IEEJ Trans. SM, Vol.130, No.4, pp.107-112 (2010-4) (in Japanese)

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