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J-GLOBAL ID：201202259128631837   整理番号：12A0153049

微小パイプ充填種結晶に成長した4H-SiCバルク結晶の欠陥キャラクタリゼーション

Defect Characterization of 4H-SiC Bulk Crystals Grown on Micropipe Filled Seed Crystals
著者 (4件)：
KATO Tomohisa

KATO Tomohisa について

(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

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KOJIMA Kazutoshi

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(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

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NISHIZAWA Shin-ichi

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(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN について

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ARAI Kazuo

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(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)

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資料名：
Materials Science Forum  (Materials Science Forum)

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巻： 483/485  ページ： 315-318  発行年： 2005年 
JST資料番号： D0716B  ISSN： 0255-5476  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)
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微小

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パイプ

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種結晶

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成長

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4H-SiC

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バルク結晶

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欠陥

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キャラクタリゼーション

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