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J-GLOBAL ID：201202264118389136   整理番号：12A0991987

球面収差補正透過型電子顕微鏡法を用いたアトミックスケールでの構造解析

Structural Analysis at an Atomic Scale Using Spherical Aberration Corrected Electron Microscope

著者 (4件)： 大島義文 (大阪大 超高圧電子顕微鏡セ) ,  谷城康眞 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  田中崇之 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  高柳邦夫 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 日本結晶学会誌  (Journal of the Crystallographic Society of Japan)
巻： 54  号： 3  ページ： 159-165  発行年： 2012年06月30日 
JST資料番号： G0232A  ISSN： 0369-4585  CODEN： NKEGAF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 科学技術振興機構が開発した非対称収差補正装置を持つ電子顕微鏡R0005を用いた原子分解能での観察例を紹介した。収束電子プローブを用いる走査型透過電子顕微鏡による観察を示した。収束角が大きくなるとプローブ径が小さくなり分解能が向上するが,約40pmのプローブ径が得られた。ゲルマニウム結晶の高角環状暗視野(HAADF)から原子カラムから成るダンベルが観察され,空間分解能が47pで世界最高であった。次にリチウム二次電池の電極(バナジウム酸リチウム)の観察では,HAADF観察と共に環状明視野(ABF)による観察を示し,ABF観察で[110]方向からリチウムカラムの観察に成功した。またシリコン結晶内のドーパント(ヒ素)クラスタの構造に関する知見を得た。

シソーラス用語： *収差補正 ,  *透過型走査電子顕微鏡 ,  *分解能 ,  ゲルマニウム ,  リチウム二次電池 ,  電極材料 ,  ケイ素 ,  半導体 ,  クラスタ ,  ドーパント
準シソーラス用語： ABF-STEM ,  HAADF-STEM ,  ドーパントクラスター ,  球面収差補正 ,  *原子分解能 ,  走査型透過電子顕微鏡

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (47件)：

• 1) M. Haider, S. Uhlemann, E. Schwan, H. Rose, B. Kabius and K. Urban: Nature 392, 768 (1998).
• 2) O. L. Krivanek, N. Dellby and A. R. Lupini: Ultramicroscopy 78, 1 (1999).
• 3) H. Sawada, et al.: Jpn. J. Appl. Phys. 46, L568 (2007).
• 4) S. J. Pennycook: Nature 335, 565 (1988).
• 5) S. J. Pennycook and D. E. Jesson: Ultramicroscopy 37, 14 (1991).

タイトルに関連する用語 (3件)： 球面収差補正 ,  透過型電子顕微鏡法 ,  構造解析