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J-GLOBAL ID：201202271401820842   整理番号：12A1306331

一軸引張下にあるAl-Si-Cu構造薄膜の準静的及び動的機械的性質

Quasistatic and dynamic mechanical properties of Al-Si-Cu structural films in uniaxial tension

著者 (6件)： FUJII Masayuki (Dep. of Mechanical and Systems Engineering, Univ. of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2201, JPN) ,  NAMAZU Takahiro (Dep. of Mechanical and Systems Engineering, Univ. of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2201, Japan and Japan ...) ,  FUJII Hiroki (Dep. of Mechanical and Systems Engineering, Univ. of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2201, JPN) ,  MASUNISHI Kei (Toshiba Corp., Corporate Res. & Dev. Center, 1 Komukai, Toshiba-cho, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 212-8582, JPN) ,  TOMIZAWA Yasushi (Toshiba Corp., Corporate Res. & Dev. Center, 1 Komukai, Toshiba-cho, Saiwai-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 212-8582, JPN) ,  INOUE Shozo (Dep. of Mechanical and Systems Engineering, Univ. of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2201, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 30  号： 3  ページ： 031804-031804-9  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報では,アルミニウム-シリコン-銅(Al-Si-Cu)合金薄膜の準静的及び動的引っ張り特性を報告した。薄膜はスパッタリングによって熱酸化Siウエハ上に堆積され,その後,ウエハの半分を窒素ガス中で623Kで1時間熱処理した。特別に開発した環境制御1軸性引張応力試験機を用いて室温(RT)から573Kの範囲の温度で,高真空中で,準静的引張試験,応力緩和試験,サイクリック負荷試験を行い,機械的特性に及ぼすアニーリングの影響を研究した。Young率はアニーリング依存性は示さない。平均値はRTで65GPaで,試験温度の上昇と共にゆるやかに減少する。非アニール及びアニール薄膜の降伏応力はそれぞれ168.5MPaと129.6MPaであり,これまた温度上昇と共に減少した。応力緩和試験結果において,それぞれの薄膜のクリープ指数をNorton則を用いたフィッティング曲線から求めた。それらはクリープ変形がアニーリングによって制限されていることを示している。定応力振幅及び定変位振幅モードの下でサイクリック負荷試験を行った。定応力振幅モード試験は破壊に至るクリープ変形加速を与え,他方,定変位振幅モードは応力振幅の緩やかな低下を示した。応力振幅変化を応力緩和曲線と比較した;結論として,低変位振幅でのサイクリック負荷を受けたAl-Si-Cu薄膜の劣化に対してはクリープ変形が支配的である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： ウエハ【IC】 ,  *アルミニウム合金 ,  ケイ素含有合金 ,  銅含有合金 ,  スパッタ蒸着 ,  *金属薄膜 ,  *引張試験 ,  *応力緩和試験 ,  高真空 ,  降伏応力 ,  *クリープ疲れ ,  曲線あてはめ ,  焼なまし ,  *Young率
準シソーラス用語： Siウエハ ,  *一軸引張試験

分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  金属の機械的性質  (BL01022T) ,  金属材料  (HC06020Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 一軸引張 ,  Al ,  Si ,  Cu ,  薄膜 ,  機械的性質