文献

J-GLOBAL ID：201202274811562890   整理番号：12A0527580

青色多重レーザダイオードアニーリングによるサブミクロン厚の珪素膜の結晶化

Crystallization of Silicon Films of Submicron Thickness by Blue-Multi-Laser-Diode Annealing

著者 (9件)： MUGIRANEZA Jean de Dieu (Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  SHIRAI Katsuya (Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  SUZUKI Toshiharu (Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  OKADA Tatsuya (Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  NOGUCHI Takashi (Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  MATSUSHIMA Hideki (Hitachi Computer Peripherals Co. Ltd, Kanagawa, JPN) ,  HASHIMOTO Takao (Hitachi Computer Peripherals Co. Ltd, Kanagawa, JPN) ,  OGINO Yoshiaki (Hitachi Computer Peripherals Co. Ltd, Kanagawa, JPN) ,  SAHOTA Eiji (Hitachi Computer Peripherals Co. Ltd, Kanagawa, JPN)
資料名： Journal of the Korean Physical Society  (Journal of the Korean Physical Society)
巻： 60  号： 1  ページ： 88-93  発行年： 2012年01月13日 
JST資料番号： T0357A  ISSN： 0374-4884  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 韓国 (KOR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *レーザアニーリング ,  *結晶化 ,  ケイ素 ,  RFスパッタリング ,  *太陽電池 ,  光センサ ,  半導体レーザ ,  *薄膜太陽電池
準シソーラス用語： *レーザ結晶化

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 青色 ,  多重 ,  レーザダイオード ,  アニーリング ,  サブ ,  厚 ,  珪素膜 ,  結晶化