TSUDA Hirotaka について
Kyoto Univ., Kyoto, JPN について
TAKAO Yoshinori について
Kyoto Univ., Kyoto, JPN について
ERIGUCHI Koji について
Kyoto Univ., Kyoto, JPN について
ONO Kouichi について
Kyoto Univ., Kyoto, JPN について
Japanese Journal of Applied Physics について
イオン衝突 について
ケイ素 について
プラズマエッチング について
ナノ構造 について
表面粗さ について
モデリング について
シミュレーション について
モデル について
塩素 について
エネルギー について
入射角 について
弾性散乱 について
セルモデル について
ラインエッジラフネス について
斜め衝突 について
入射エネルギー について
表面粗れ について
固体-プラズマ相互作用 について
固体デバイス製造技術一般 について
イオン について
Si について
プラズマエッチング について
モデリング について
シミュレーション について