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J-GLOBAL ID：201202297839473931   整理番号：12A0626857

高分解能飛行時間型二次イオン質量分析法を用いた微粒子粒別起源解析法の開発

Development of Source Apportionment of Individual Particle by High Resolution Time of Flight-Secondary Ion Mass Spectrometry

著者 (11件)： 間山憲仁 (東京工業大学資源化学研究所) ,  間山憲仁 (工学院大学工学部電気システム工学科) ,  後藤栄太 (工学院大学工学部電気システム工学科) ,  三浦祐哉 (工学院大学工学部電気システム工学科) ,  大石乾詞 (工学院大学工学部電気システム工学科) ,  坂本哲夫 (工学院大学工学部電気システム工学科) ,  高見昭憲 (国立環境研究所) ,  畠山史郎 (東京農工大学大学院農学研究院) ,  坂東博 (大阪府立大学大学院工学研究科) ,  村野健太郎 (法政大学大学院工学研究科) ,  藤井正明 (東京工業大学資源化学研究所)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 55  号： 3  ページ： 104-107 (J-STAGE)  発行年： 2012年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 飛行時間二次イオン質量分析法(TOF-SIMS)を基礎として,一次イオン集束ビーム(FIB)を備え,走査電子顕微鏡(SEM)と共鳴多光子イオン化法を組み合わせた単一微粒子起源解析装置を開発した。モデル試料を用いてTOF-SIMSによる個別粒子分析とクラスター分析法の開発を行なった。この方法を越境汚染微粒子の高精度な起源・履歴解明のため実試料(エアロゾル粒子)に適用した。結果として,特性日におけるエアロゾル粒子は異なる汚染源をもつ10クラスターに分類された。汚染エアロゾルの変動はバルク化学分析により求めたそれと一致した。開発した方法が浮遊粒子状物質の起源・履歴決定に効果的であると結論した。

シソーラス用語： *二次イオン質量分析 ,  *飛行時間法 ,  集束イオンビーム ,  走査電子顕微鏡 ,  多光子イオン化 ,  *複合技術 ,  試料 ,  分析機器 ,  *クラスタ分析 ,  エアロゾル ,  *浮遊粒子状物質 ,  装置 ,  微粒子 ,  経歴 ,  分析 ,  *大気汚染物質
準シソーラス用語： 共鳴多光子イオン化 ,  モデル試料 ,  単一微粒子起源解析装置 ,  個別粒子分析

分類 (1件)： 質量分析  (CC03013N)

引用文献 (8件)：

• TAKAMI, A. J. Geophys. Res. 2007, 112, D22S31
• SAKAMOTO, T. Appl. Surf. Sci. 2008, 255, 1617
• TOMIYASU, B. Nippon Kagaku Kaishi. 1996, 5, 500
• YAMAGUCHI, J. Appl. Surf. Sci. 2008, 255, 1505
• ZENG, J. Atmos. Environ. 2003, 37, 1911

タイトルに関連する用語 (7件)： 高分解能 ,  飛行時間 ,  二次イオン質量分析法 ,  微粒子 ,  起源 ,  解析法 ,  開発