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J-GLOBAL ID:201202299562551363   整理番号:12A0255221

炭素の異方性プラズマCVD用のAr+H2+C7H8放電の発光分光法

Optical emission spectroscopy of Ar+H2+C7H8 discharges for anisotropic plasma CVD of carbon
著者 (14件):
資料名:
巻: 33rd  ページ: 123-124  発行年: 2011年 
JST資料番号: Y0378B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
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プラズマ診断  ,  固体デバイス製造技術一般 
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