特許
J-GLOBAL ID：201203000813051592
接触燃焼式ガスセンサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
宮島 明
, 土屋 繁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-105778
公開番号（公開出願番号）：特開2012-145597
出願日： 2012年05月07日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：
【課題】接触燃焼式ガスセンサ素子において、ガス感度を損なうことなく、検知素子と補償素子をワンチップに収め、実装が容易に行えること。【解決手段】シリコン基板上にある絶縁膜の表面と裏面の両面に焼結体およびヒーター部から成る検知素子と補償素子を設ける。また、ヒーター部の周囲に複数の貫通孔を設ける。裏面側に形成したヒーター部の一部が絶縁膜を貫通して表面側の電極部まで延長する。表面と裏面のヒーター部はそれぞれ同一の抵抗材料を用いて同一形状に形成する。最終的に形成されるガスセンサは、検知素子と補償素子で発生する熱をそれぞれ遮断でき、ガス感度が向上し、貫通孔によるガスの流動性向上により応答速度が向上し、また、各素子と導通を取る電極が表面に集約されることで実装が容易になる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
焼結体に接触したガスの燃焼により発生した燃焼熱によってヒーター部の電気的な特性値が変化し、その特性値の変化に基づいて可燃性ガスの存在を検知する接触燃焼式ガスセンサであって、
絶縁膜の表面に、前記焼結体および第1のヒーター部を有する検知素子と、前記絶縁膜の裏面に、前記焼結体および第2のヒーター部を有する補償素子と、を備えることを特徴とする接触燃焼式ガスセンサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2G060AA02
, 2G060AB03
, 2G060AB17
, 2G060AE19
, 2G060AF09
, 2G060AG06
, 2G060AG08
, 2G060BA03
, 2G060BD02
, 2G060BD08
, 2G060HB06
, 2G060HC02
