特許
J-GLOBAL ID：201203008131095165
エアマイクロメータの測定ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
飯田 昭夫
, 江間 路子
, 上田 千織
, 村松 孝哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-190088
公開番号（公開出願番号）：特開2012-047603
出願日： 2010年08月26日
公開日（公表日）： 2012年03月08日
要約：
【課題】ヘッド表面の摩耗を低減できると共に、ワークの被測定面への傷付きを防止することができるエアマイクロメータの測定ヘッドを提供する。【解決手段】ヘッドに設けた噴出孔からワークの被測定面に対しエアを噴出し、その背圧または差圧に基づき、ワークの内径、外径、或いは厚さなどを測定するエアマイクロメータの測定ヘッドである。ヘッド本体10の噴出孔3,3の近傍を除き、少なくともヘッド本体10の先端面11と外周面12に、DLC膜2がPVD法またはプラズマCVD法によりコーティングされている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ヘッド本体に設けた噴出孔からワークの被測定面に対しエアを噴出し、その背圧または差圧に基づき、ワークの内径、外径、或いは厚さなどを測定するエアマイクロメータの測定ヘッドにおいて、
該ヘッド本体の噴出孔の近傍を除き、少なくとも該ヘッド本体の表面におけるワークとの接触可能な部分に、DLC膜が蒸着によりコーティングされていることを特徴とするエアマイクロメータの測定ヘッド。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2F066AA16
, 2F066AA22
, 2F066AA23
, 2F066DD07
, 2F066FF09
, 2F066FF10
