特許
J-GLOBAL ID：200903032101376260

摺動部品用ダイヤモンドライクカーボン皮膜およびその製造方法

発明者：
伊藤 弘高

伊藤 弘高 について

, 
山本 兼司

山本 兼司 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (3件)： 梶 良之 ,  須原 誠 ,  竹中 芳通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-010504
公開番号（公開出願番号）：特開2009-167512
出願日： 2008年01月21日
公開日（公表日）： 2009年07月30日
要約：
【課題】高耐久性および低摩擦係数の二つの特性を同時に満足させることのできるDLC系の摺動皮膜の提供。【解決手段】摺動部材の摺動側表面にコーティングされた皮膜であって、ダイヤモンドライクカーボン(DLC。以下同様。)から成る下層膜およびこの下層膜の上に配置されたDLCからなる上層膜との少なくとも2層の膜から構成され、下層膜は、硬度が20GPa以上45GPa以下、ヤング率が250GPa以上450GPa以下、そして膜厚が0.2μm以上4.0μm以下であり、上層膜は、硬度が5GPa以上20GPa未満、ヤング率が60GPa以上240GPa以下、そして膜厚が1.0μm以上10μm以下であることを特徴とする摺動部品用ダイヤモンドライクカーボン皮膜。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
摺動部材の摺動側表面にコーティングされた皮膜であって、ダイヤモンドライクカーボン(DLC。以下同様。)から成る下層膜およびこの下層膜の上に配置されたDLCからなる上層膜との少なくとも2層の膜から構成され、下層膜は、硬度が20GPa以上45GPa以下、ヤング率が250GPa以上450GPa以下、そして膜厚が0.2μm以上4.0μm以下であり、上層膜は、硬度が5GPa以上20GPa未満、ヤング率が60GPa以上240GPa以下、そして膜厚が1.0μm以上10μm以下であることを特徴とする摺動部品用ダイヤモンドライクカーボン皮膜。
IPC (2件)：
C23C 14/06 ,  C23C 16/27
FI (2件)：
C23C14/06 F ,  C23C16/27
Fターム (9件)：
4K029BA34 ,  4K029BC00 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DC03 ,  4K029DD06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030BA28
引用特許：
出願人引用 (5件)
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