特許
J-GLOBAL ID:201203009086541970
搬送システム及び搬送方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
塩入 明
, 塩入 みか
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-187120
公開番号(公開出願番号):特開2012-114406
出願日: 2011年08月30日
公開日(公表日): 2012年06月14日
要約:
【課題】処理装置の前面を塞ぐことなく、かつ搬送システムが平面視で占める床面積を小さくしながら、処理装置に物品を速やかに供給搬出する。【解決手段】天井走行車軌道と平行にその下方に、処理装置4のロードポート6の上流側から下流側まで、ロードポートの上方に配置されているローカル軌道20が設けられ、ホイスト14を備えるローカル台車22が走行する。ローカル軌道の下部に、処理装置のロードポートの上流側に配置されている第1のバッファと、下流側に配置されている第2のバッファとが、天井走行車12とローカル台車が共に物品18を受け渡し自在に設けられている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
複数の処理装置間で物品を搬送するため、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車軌道と、前記天井走行車軌道に沿って一方向に走行し、かつホイストを備える天井走行車とを備える搬送システムであって、
前記天井走行車軌道の下方で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側から下流側まで、ロードポートの上方に配置され、かつ天井走行車軌道と平行に配置されているローカル軌道と、
前記ローカル軌道を走行し、かつ物品を昇降させるホイストを備えるローカル台車と、 前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの上流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第1のバッファと、 前記ローカル軌道の下部で、前記一方向に沿って処理装置のロードポートの下流側に配置され、かつ天井走行車とローカル台車が共に物品を受け渡し自在な第2のバッファ、とを備えていることを特徴とする、搬送システム。
IPC (3件):
H01L 21/677
, B65G 1/04
, B65G 49/07
FI (3件):
H01L21/68 A
, B65G1/04 551A
, B65G49/07 Z
Fターム (11件):
3F022AA08
, 3F022FF01
, 3F022JJ08
, 5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031FA03
, 5F031FA11
, 5F031FA15
, 5F031GA49
, 5F031GA58
, 5F031PA30
引用特許:
出願人引用 (3件)
-
基板移送装置及びその基板移送方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-160424
出願人:セメス株式会社
-
キャリア移載促進装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-237751
出願人:シンフォニアテクノロジー株式会社
-
物品搬送設備
公報種別:公開公報
出願番号:特願2010-166303
出願人:株式会社ダイフク
審査官引用 (3件)
-
基板移送装置及びその基板移送方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-160424
出願人:セメス株式会社
-
キャリア移載促進装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-237751
出願人:シンフォニアテクノロジー株式会社
-
物品搬送設備
公報種別:公開公報
出願番号:特願2010-166303
出願人:株式会社ダイフク
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